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LED合金炉 

LED专用合金炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

主要性能指标:
外型形式:卧式1—4管结构,水平炉管
工作温度:200℃—1100℃
恒温区长度:≥600mm
硅片规格:适用于2—6英寸硅片以及碎片
恒温区精度:≤±1℃(在400—1000℃范围内)
单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范围内)
温度过冲平衡:载料进炉,温度平衡到工艺时间,低于10分钟。
工艺气体及控制:氮气、氧气。MFC或浮子流量计控制
气路系统气密性:1×10—7PaM3/s
送料机构:悬臂石英杆载料,手动
报警系统:工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式:工控机总程控制、触摸屏控制

设备特点:
快速热恢复性
设计有预热区
具有可编程的升、降温功能
采用滤波器、屏蔽板等装置,有效解决电网、磁场的干扰
自动运行中可暂停/继续运行功能
智能升降温斜率控制功能
PlD参数自整定功能,可存储多组PlD参数供系统运行调用功能
系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
具有停电后断点继续运行功能

公司地址:青岛市城阳区夏庄街道少山社区172号 联系人:顾经理 电话:13553097072
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